【半導体製造装置】ASML露光装置のMetrology Frameと共に
すっかり投稿が遅くなりました。徒然技師です。
露光装置は複雑な装置。片田舎のエンジニアが生半可な気持ちで手を出すものではないですね。更新に1ヶ月近くかかりました。
元ネタ等等は見つけたので、分かり次第メモ程度に少しずつ上げていきます。まず最初に手をつけた疑問としては、ステージ関係やフレーム関係です。ここに手をつけないと先に進まない…
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ステージは片側H型構造?片持ちで精度が出るのか??反力による衝撃吸収をす