X線ロッキングカーブ測定で転位密度を求める方法

GaNなどの結晶の転位密度を求める方法はいくつかありますが、その一つにX線ロッキングカーブ測定があります。この記事では、ロッキングカーブ測定を用いて転位密度を求評価する方法についてCopilotに聞いてみました。
※Copilotの回答に間違いがあったので修正を加えています。
※本記事はＡＩを利用して作成したものであり、正確性に欠ける場合があります。そのため、本記事の内容を卒業論文や修士論文などの引用文献として利用することは一切禁止とします。記事の中に含まれるリンク先の論文等を合わせて参照して下さい。

X線ロッキングカーブ測定から転位密度を求める方法を教えてください

X線ロッキングカーブ測定を用いて転位密度を求める方法について説明します。

ロッキングカーブ測定とは

ロッキングカーブ測定は、結晶の方位のばらつきを評価するための手法です。試料を回転させながらX線の回折強度を測定し、回折ピークの幅（半値幅）を解析することで、結晶の品質や転位密度を評価します[1][2]。

転位密度の計算方法

転位密度は、ロッキングカーブの半値幅（FWHM: Full Width at Half Maximum）を用いて以下の式で求められます[3][4]：