半導体装置のCleaningで汚れることもある

はじめに

　今回はXの方でも募集して、獲得票が一番多かった半導体装置のチャンバーCleaningに関して自分の経験をまとめおきたいと思います。具体的な装置名や機種名を出すと色々と問題が発生しそうなので、あくまでも一般的な内容になります。

　他にも半導体に関する記事をまてめていますので、ご興味を持たれましたら他の記事もぜひ読んでください。ノウハウや調査に時間を要した記事に関しては有料となっています。お茶代だと思ってください。

半導体が好きになる｜USAEng｜note

半導体装置のCleaningとは

　Cleaningに関して簡単に説明したいと思います。装置は処理枚数や定期メンテナンスなどで頻繁にチャンバー内をCleaningします。特に成膜系のチャンバーは頻度が高いです。その際に意図しない理由でCleaningしたのに汚れてしまい汚染が発生するということがあります。そのようなリスクがあるというのを今回説明していきたいと思います。

　Cleaning方法は多種多様ですがいかに分類されるかと思います。今回はそれぞれに関して説明していこうと思います。

• in-situ cleaning

• 大気解放し内部の拭きあげ

• エッチング

　それぞに関してpros./cons.が必ずあります。また装置の特徴によりこれらができたりできなかったりするので、装置のメンテマニュアルや装置メーカーの推奨Cleaning方法を実際に参照することをお勧めします。