東京エレクトロンの共同研究公募が開始されましたね！
https://www.tel.co.jp/news/topics/2024/20240614_001.html
大型なら年間最大1500万円×3年間の助成がありますので、公的機関に所属されている研究者の方はトライしてみても良いですね👍