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メンテコストが減らせるちょうどいい材料~液晶ガラス、半導体ウエハー加工 編~

工場の製造プロセスでは、いろいろな化学薬品が使われています。
中でも液晶ガラス半導体ウエハーの加工から出る排液となると、強い腐食性があるフッ酸が入っていて、さらに固形分も入っているから摩耗性も高い・・・という二重苦になっています。
こういった工程で、「ポンプの耐久性が低くて困っている」「ポンプのメンテナンス頻度が多いのは当たり前になっている」という方向けに、排水ポンプの課題とその解決法をご紹介します。


液晶ガラスと半導体ウエハーの共通点

左の写真は、スマートフォンの液晶ガラスを研磨する装置です。
研磨と言っても機械的な研磨ではなくて、エッチング(化学研磨)。
そして、右の写真は半導体ウェハーの洗浄装置です。

液晶ガラスと半導体ウエハーはまったく違う材料で、これらの加工工程はもちろん違うものですが、ここから出る排液には共通点があります。
それは、腐食性も摩耗性も高い排液だということ。

①研磨や洗浄で使われる、腐食性が高いフッ酸

こうした製造プロセスでは、非常に腐食性の強い「フッ酸」が使用されています
フッ酸は、おおくの物質に対して高い腐食性を持っているため、スマートフォンの液晶ガラスや半導体ウエハーといったものを研磨したり、洗浄するときに使われています。

たとえば、以下のようなフロー。

排水処理の一般的なフロー

このため、ここで出てくる排液を送るポンプは、必然的に高い耐腐食性が要求されるのです。

②フッ素除去に使われる、摩耗性の高い消石灰スラリー

そして、フッ酸が含まれる排液には、フッ素を除去する工程が必要です。
ここで出てくるのが、摩耗性の高い消石灰スラリー
そして最終的には、沈殿したフッ化カルシウムをフィルタープレス等で固液分離する工程もあります。

ダブルパンチでメンテコストが膨らむ

このような点から、液晶ガラスや半導体ウエハーの加工プロセスから出る排液を送るポンプには、耐腐食性と耐摩耗性の二つの耐久性が求められます

腐食性に強いといえばステンレスや樹脂がよく使われていますが、どちらもあまり摩耗性は強くありません。
つまり、ステンレス製ポンプや樹脂製ポンプを使っていると、ポンプの交換や修理が頻繁に必要となって、メンテナンスコストが増加してしまっている傾向があるのです。

コストも減らせるちょうどいい材料

そこでみつわポンプが提案しているのが、ゴム製ポンプ。
じつは、ゴムは耐食性と耐摩耗性どちらも兼ね備えたちょうどいい材料なんです。
もちろん、なにごとも完全な耐性があるわけではありませんが、今回のようなフッ酸や排水に含まれた消石灰スラリーには、強い耐久性を持っています。

実際にこういった液晶ガラス研磨装置や半導体ウエハー洗浄装置では、みつわポンプのゴムライニングポンプ「ラバーセルポンプ」を多くご利用いただいています。

既設のステンレス製や樹脂製のポンプから切り替えると、ポンプの耐久性アップでメンテナンス頻度を各段に減らすことができます。
こうなることで修理コストや人件費を削減できて、高い評価をいただいています

液晶ガラス半導体ウエハーの加工工程があって、「ポンプの耐久性が低くて困っている」「ポンプのメンテナンス頻度が多いのは当たり前になっている」という方は、ぜひ一度みつわポンプへご相談ください

▼メンテナンスコストを減らせるちょうどいいポンプ▼

▼この記事を動画で見たい方はこちら▼

※販売代理店担当者向けに作成した動画となりますので、若干構成が異なる場合があります。

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