【#半導体】【フォトマスク】日本の主要企業・銘柄一覧
フォトマスクとは フォトマスクとは、半導体製造におけるフォトリソグラフィ工程において使用される部材です。表面の遮光膜に微細な回路パターンを描写(エッチング)した透明なガラス板で、設計した回路をシリコンウェハに焼き付けるときの原版になります。半導体デバイスの性能に直結する工程で使用されるため、高いパターン寸法精度はもちろん、わずかなパターン欠陥や極小の異物付着さえも許されない高度な品質管理が要求されます。
回路線幅が大きいものでは1:1のサイズで露光されますが、近年では回路