【基礎用語解説】純水・超純水

水中に含まれる不純物の中で、イオン交換や蒸留によりイオン類を除去した水を純水またはイオン交換水と呼びます。様々な水処理手段を組み合わせてさらに残留する微粒子、有機物、溶存ガス等を除去した水は超純水と呼ばれます。

純水、超純水を決定する指標として最も一般的に用いられるのは、電解質（イオンなど）の総量を意味する比抵抗であり、大きいほどに電気が流れにくいことを意味します。水中に含まれるイオンの量が少なくなるほどに電気を通しにくくなることから、水道水に比べて純水は比抵抗が大きくなります。

一般的な水道水の比抵抗は1 ＫΩ・cmであり、概ね1 MΩ・cm以上の水のことを純水、10 MΩ・cm以上の水を超純水と呼びます。理論純水（不純物の含まれない完全な水）の比抵抗は18.24 MΩ・cmです [1]。

半導体製造においては、最高グレードの超純水が用いられているだけでなく、その要求はパターン寸法が微細になるにしたがって年々厳しくなっています [2]。

参考文献

[1] 水処理の基礎！水の純粋さを測る指標：電気伝導率と比抵抗とは？ : コラム : お役立ち情報 : Lab Salon（ラボサロン） - オルガノ株式会社が運営する 純水・超純水ポータルサイト - (organo.co.jp)

[2] https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/69/10/69_425/_pdf/-char/ja