#95 レーザーテック(6920) フォローレポート

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－－－－－－－－－－－－－－－－－－－2021/01/19

　　　　　　　「グロース銘柄発掘隊」　第９５号

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　山本潤氏率いる「株の学校」で、山本氏をはじめとする講師陣の薫陶を受けた精鋭アナリスト達が、成長株を発掘し、その内容を詳細にレポートします。

　毎週火曜日配信、１回に１銘柄の深掘りレポートです。

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　　　　　　　　　　　　　　　【目次】

■はじめに
■レーザーテック（６９２０）フォローレポート　客員アナリスト　瀬山大
■モデルポートフォリオ　１／５更新

※本メルマガの一部内容を、億の近道へ抜粋の上掲載することがございますので、あらかじめご了承下さい。

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■はじめに

【発掘隊より】

　グロース銘柄発掘隊は、５年から１０年以上の長期投資に耐えると思われる銘柄を発掘し、調査分析するものです。配信した銘柄は短期的に株価調整する場合もありますが、対象企業の前提条件が変化しない限り、問題ないと考えます。
　配信した銘柄は定期的にチェックしております。もし、前提条件が変わったりビジネス環境が大幅に変化した場合には、あらためてフォローコメントを配信致します。

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■レーザーテック（６９２０）フォローレポート

　２０２０年５月の執筆では、ＥＵＶ光を使ったマスク検査装置ＡＣＴＩＳの成長性に２つのシナリオを作り理論株価を算出しました。
　当社が圧倒的なシェアを持つウェハ製造での検査に強みを発揮することに加え、ＫＬＡ社の独断場であるマスク製造時の検査装置としても導入されるのか否かでした。
　２０２０年１２月のレーザーテック社での取材、その他調査した情報をもとに当社の成長性と理論株価を再検証したいと思います。

【概要】

　◆ＥＵＶペリクルの動向

　ＥＵＶペリクルが実用化するための課題として透過率があります。
　９０％の透過率が必要と言われている中で、５月の取材当時では透過率が８３％と言われており、実用には２年かかるのではとも考えられていました。
　このペリクルに関して、進捗がありました。
　ＥＵＶ露光機メーカーであるＡＳＭＬはペリクルの開発もしており、量産を三井化学に依頼するライセンス契約を結んでいることは知られていました。
　その三井化学の２Ｑの決算説明では岩国大竹工場にて４Ｑに完工、サンプル出荷を始めるそうです。
　ＡＳＭＬからの回答でも金属シリサイドの材料を使ったペリクルで透過率９０％の実現を目指しており、２０２１年２月のＳＰＩＥ（国際光工学会）にて発表するとのことです。
　インテルも９月に８５％透過率のペリクルを発表しました。
　ベルギーにある国際研究機関ＩＭＥＣも１０月にカーボンナノチューブが材料の９６％透過率のペリクルを発表しました。
　ペリクルが実用化されると、フォトマスク表面から数ｍｍ離れた部分に、ペリクル膜が配置されることになります。
　そうなると、たとえペリクル表面に異物が付着してもフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがなくなります。
　このことによるロス率の改善に加えてペリクルが装着することでマスク表面の異物除去のための洗浄、その後の検査、さらに洗浄によるマスクのダメージ回避が期待されます。

　◆ファウンドリの動向