忘備録＞半導体関連における水素脆化研究や検査で進んでいる企業
半導体関連における水素脆化研究や検査で進んでいる企業は、その研究開発内容の多くが非公開であるため、断定的に「最も進んでいる」企業を特定することは困難です。しかし、いくつかの企業や研究機関が、この分野で積極的な取り組みを行っており、注目に値します。
日本企業
SCREENホールディングス株式会社: 半導体製造装置メーカーとして、洗浄工程における水素汚染の抑制や、水素脆化に強い材料の開発に力を入れています。
東京エレクトロン株式会社: 同社も半導体製造装置メーカーであり、水素脆化を考慮したプロセス設計や、水素脆化評価技術の開発に取り組んでいます。
産業技術総合研究所 (AIST): 日本の公的研究機関であるAISTは、半導体材料における水素脆化メカニズムの解明や、水素脆化評価技術の開発に関する研究を幅広く行っています。
海外企業
imec: ベルギーに拠点を置く世界的な半導体研究機関であるimecは、パワー半導体や先端半導体デバイスにおける水素脆化問題の解決に向けた研究開発を積極的に推進しています。
Fraunhofer Institute for Mechanics of Materials IWM: ドイツのフラウンホーファー研究機構は、半導体材料における水素脆化メカニズムの解明や、水素脆化評価技術の開発に関する研究に力を入れています。
Applied Materials: アメリカの半導体製造装置メーカーであるApplied Materialsは、水素脆化を抑制する成膜技術や、水素脆化評価装置の開発など、幅広い取り組みを行っています。
その他
半導体メーカー: 各半導体メーカーも、自社製品の信頼性向上のため、水素脆化対策に関する研究開発を独自に進めています。
大学・研究機関: 世界中の大学や研究機関が、半導体材料における水素脆化に関する基礎研究や応用研究に取り組んでいます。
まとめ
半導体関連における水素脆化対策は、デバイスの信頼性向上と高性能化に向けて、世界中で活発な研究開発が行われている分野です。上記で挙げた企業や研究機関以外にも、多くの組織が、この分野で重要な役割を果たしています。今後も、半導体関連の水素脆化対策技術の進歩に注目していくことが重要です。
Memorandum > Leading companies in hydrogen embrittlement research and testing for semiconductors
It is difficult to definitively identify the "most advanced" companies in hydrogen embrittlement research and testing for semiconductors, as much of the research and development content is confidential. However, several companies and research institutes are actively working in this field, which is worthy of attention.
Japanese companies
SCREEN Holdings Co., Ltd.: As a manufacturer of semiconductor manufacturing equipment, they are focusing on suppressing hydrogen contamination in the cleaning process and developing materials that are resistant to hydrogen embrittlement.
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Tokyo Electron Limited: Also a manufacturer of semiconductor manufacturing equipment, the company is working on process design that takes hydrogen embrittlement into consideration and developing hydrogen embrittlement evaluation technology.
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST): A Japanese public research institute, AIST is conducting a wide range of research into elucidating the hydrogen embrittlement mechanism in semiconductor materials and developing hydrogen embrittlement evaluation technology.
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Foreign companies
imec: Imec, a world-class semiconductor research institute based in Belgium, is actively promoting research and development to solve the hydrogen embrittlement problem in power semiconductors and advanced semiconductor devices.
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Fraunhofer Institute for Mechanics of Materials IWM: The German Fraunhofer Institute is focusing on research into the elucidation of hydrogen embrittlement mechanisms in semiconductor materials and the development of hydrogen embrittlement evaluation techniques.
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Applied Materials: Applied Materials, a US semiconductor manufacturing equipment manufacturer, is engaged in a wide range of initiatives, including the development of film formation techniques to suppress hydrogen embrittlement and hydrogen embrittlement evaluation equipment.
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Other
Semiconductor manufacturers: Each semiconductor manufacturer is also independently conducting research and development into hydrogen embrittlement countermeasures to improve the reliability of their own products.
Universities and research institutes: Universities and research institutes around the world are conducting basic and applied research on hydrogen embrittlement in semiconductor materials.
Summary
Hydrogen embrittlement countermeasures in semiconductors are an area of active research and development around the world to improve the reliability and performance of devices. In addition to the companies and research institutes listed above, many other organizations play important roles in this field. It is important to continue to pay attention to the progress of hydrogen embrittlement countermeasure technologies in semiconductors.
备忘录>在半导体领域的氢脆研究和测试方面取得进展的公司
在半导体相关氢脆研究和测试方面处于领先地位的公司，其大部分研发内容并未公开，因此很难明确确定“最先进”的公司。不过，也有一些企业和研究机构在这方面做出了积极的努力，值得关注。
日本企业
SCREEN Holdings Co., Ltd.：作为半导体制造设备制造商，我们致力于抑制清洗过程中的氢污染，并开发耐氢脆材料。
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东京电子株式会社：东京电子也是一家半导体制造设备制造商，正在致力于考虑氢脆的工艺设计和氢脆评估技术的开发。
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日本产业技术综合研究所 (AIST)：AIST 是日本的一家公共研究机构，在阐明半导体材料的氢脆机制和开发氢脆评估技术方面进行了广泛的研究。
海外公司
IMEC：IMEC是一家总部位于比利时的全球半导体研究机构，积极推动旨在解决功率半导体和先进半导体器件氢脆问题的研究和开发。
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弗劳恩霍夫材料力学研究所IWM：德国弗劳恩霍夫研究所重点研究阐明半导体材料氢脆机理，开发氢脆评估技术。
应用材料公司：应用材料公司是一家美国半导体制造设备制造商，致力于开发抑制氢脆化的成膜技术以及氢脆评价设备等广泛的举措。
其他的
半导体厂商：各半导体厂商都在独立进行氢脆对策的研发，以提高产品的可靠性。
大学和科研机构：世界各地的大学和科研机构都在从事半导体材料氢脆的基础和应用研究。
概括
半导体氢脆对策是世界各地积极研究和开发的一个领域，以提高器件的可靠性和性能。除了上述公司和研究机构外，许多其他组织在该领域发挥着重要作用。今后，继续关注与半导体相关的氢脆对策技术的进展也很重要。
ज्ञापन>वे कंपनियाँ जो सेमीकंडक्टर क्षेत्र में हाइड्रोजन उत्सर्जन अनुसंधान और परीक्षण में प्रगति कर रही हैं
जो कंपनियाँ सेमीकंडक्टर-संबंधित हाइड्रोजन उत्सर्जन अनुसंधान और परीक्षण में उन्नत हैं, उनकी अधिकांश अनुसंधान एवं विकास सामग्री का खुलासा नहीं किया जाता है, जिससे निश्चित रूप से ``सबसे उन्नत'' कंपनियों की पहचान करना मुश्किल हो जाता है। हालाँकि, कई कंपनियाँ और अनुसंधान संस्थान इस क्षेत्र में सक्रिय प्रयास कर रहे हैं और यह ध्यान देने योग्य है।
जापानी कंपनियाँ
स्क्रीन होल्डिंग्स कं, लिमिटेड: एक सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण निर्माता के रूप में, हम सफाई प्रक्रिया के दौरान हाइड्रोजन संदूषण को दबाने और ऐसी सामग्री विकसित करने पर ध्यान केंद्रित कर रहे हैं जो हाइड्रोजन उत्सर्जन के लिए प्रतिरोधी हैं।
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टोक्यो इलेक्ट्रॉन लिमिटेड: टोक्यो इलेक्ट्रॉन भी एक अर्धचालक विनिर्माण उपकरण निर्माता है, और प्रक्रिया डिजाइन पर काम कर रहा है जो हाइड्रोजन उत्सर्जन को ध्यान में रखता है और हाइड्रोजन उत्सर्जन मूल्यांकन तकनीक का विकास करता है।
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नेशनल इंस्टीट्यूट ऑफ एडवांस्ड इंडस्ट्रियल साइंस एंड टेक्नोलॉजी (एआईएसटी): एआईएसटी, जापान में एक सार्वजनिक अनुसंधान संस्थान, अर्धचालक सामग्रियों में हाइड्रोजन उत्सर्जन तंत्र को स्पष्ट करने और हाइड्रोजन उत्सर्जन मूल्यांकन प्रौद्योगिकी विकसित करने पर व्यापक शोध करता है।
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विदेशी कंपनियाँ
imec: बेल्जियम स्थित एक वैश्विक सेमीकंडक्टर अनुसंधान संस्थान, imec, पावर सेमीकंडक्टर और उन्नत सेमीकंडक्टर उपकरणों में हाइड्रोजन उत्सर्जन समस्याओं को हल करने के उद्देश्य से सक्रिय रूप से अनुसंधान और विकास को बढ़ावा देता है।
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फ्रौनहोफर इंस्टीट्यूट फॉर मैकेनिक्स ऑफ मैटेरियल्स IWM: जर्मनी में फ्रौनहोफर इंस्टीट्यूट सेमीकंडक्टर सामग्रियों में हाइड्रोजन उत्सर्जन के तंत्र को स्पष्ट करने और हाइड्रोजन उत्सर्जन मूल्यांकन तकनीक विकसित करने के लिए अनुसंधान पर ध्यान केंद्रित कर रहा है।
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एप्लाइड मटेरियल: एप्लाइड मटेरियल, एक अमेरिकी सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण निर्माता, हाइड्रोजन उत्सर्जन और हाइड्रोजन उत्सर्जन मूल्यांकन उपकरण को दबाने के लिए फिल्म निर्माण तकनीक के विकास सहित कई पहलों में लगी हुई है।
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अन्य
सेमीकंडक्टर निर्माता: प्रत्येक सेमीकंडक्टर निर्माता अपने उत्पादों की विश्वसनीयता में सुधार के लिए हाइड्रोजन उत्सर्जन प्रतिकार पर स्वतंत्र रूप से अनुसंधान और विकास कर रहा है।
विश्वविद्यालय और अनुसंधान संस्थान: दुनिया भर के विश्वविद्यालय और अनुसंधान संस्थान अर्धचालक सामग्रियों में हाइड्रोजन उत्सर्जन पर बुनियादी और व्यावहारिक अनुसंधान में लगे हुए हैं।
सारांश
अर्धचालकों में हाइड्रोजन उत्सर्जन के खिलाफ उपाय एक ऐसा क्षेत्र है जहां डिवाइस की विश्वसनीयता और प्रदर्शन में सुधार के लिए दुनिया भर में सक्रिय अनुसंधान और विकास किया जा रहा है। ऊपर उल्लिखित कंपनियों और अनुसंधान संस्थानों के अलावा, कई अन्य संगठन इस क्षेत्र में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। भविष्य में, अर्धचालकों से संबंधित हाइड्रोजन उत्सर्जन प्रतिकार प्रौद्योगिकी में प्रगति पर ध्यान देना जारी रखना महत्वपूर्ण होगा।
망비록> 반도체 관련 수소 취화 연구 및 검사로 진행중인 기업
반도체 관련 수소취화 연구 및 검사로 진행되고 있는 기업은 그 연구개발 내용의 대부분이 비공개이기 때문에 단정적으로 '가장 진행되고 있는' 기업을 특정하는 것은 어렵다. 그러나 일부 기업과 연구 기관이 이 분야에서 적극적인 노력을 하고 있으며 주목할 만하다.
일본 기업
SCREEN 홀딩스 주식회사: 반도체 제조장치 메이커로서, 세정공정에 있어서의 수소오염의 억제나, 수소취화에 강한 재료의 개발에 주력하고 있습니다.
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도쿄 일렉트론 주식회사: 동사도 반도체 제조 장치 메이커이며, 수소 취화를 고려한 프로세스 설계나, 수소 취화 평가 기술의 개발에 임하고 있습니다.
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산업기술종합연구소(AIST): 일본의 공적연구기관인 AIST는 반도체 재료에 있어서의 수소취화 메커니즘의 해명과 수소취화 평가기술의 개발에 관한 연구를 폭넓게 실시하고 있습니다.
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해외 기업
imec : 벨기에에 본사를 둔 세계적인 반도체 연구 기관인 imec은 전력 반도체 및 첨단 반도체 장치에서 수소 취화 문제를 해결하기위한 연구 개발을 적극적으로 추진하고 있습니다.
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Fraunhofer Institute for Mechanics of Materials IWM: 독일의 프라운호퍼 연구 기구는 반도체 재료에서 수소 취화 메커니즘의 해명과 수소 취화 평가 기술의 개발에 관한 연구에 주력하고 있습니다.
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Applied Materials: 미국의 반도체 제조 장치 제조업체인 Applied Materials는 수소 취화를 억제하는 성막 기술과 수소 취화 평가 장치의 개발 등 폭넓은 대처를 하고 있습니다.
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기타
반도체 메이커: 각 반도체 메이커는 자사 제품의 신뢰성 향상을 위해 수소 취화 대책에 관한 연구 개발을 독자적으로 진행하고 있습니다.
대학·연구기관: 전세계의 대학이나 연구기관이 반도체 재료에 있어서의 수소취화에 관한 기초연구와 응용연구에 임하고 있습니다.
요약
반도체 관련 수소 취화 대책은 디바이스의 신뢰성 향상과 고성능화를 위해 전세계에서 활발한 연구 개발이 이루어지고 있는 분야입니다. 위에서 언급한 기업과 연구기관 외에도 많은 조직이 이 분야에서 중요한 역할을 하고 있습니다. 앞으로도 반도체 관련 수소 취화 대책 기술의 진보에 주목해 나가는 것이 중요합니다.
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