九州大学、先端半導体の露光技術「EUV」で新会社設立
九州大学、先端半導体の露光技術「EUV」で新会社設立
シリコンアイランド
九州大学は26日、最先端の半導体製造に欠かせない極端紫外線（EUV）の技術を持つ新会社、EUVフォトン（福岡市）を設立すると発表した。企業が先端半導体向けの新素材などを開発するにあたり、EUVの照射から解析までをワンストップで提供することで技術を蓄積、半導体供給網の強化につなげる。
設立は29日付で、産学連携の加速を目的に4月に設立した九大OIP（同）の傘下企業第1号となる。社長には半導体の研究・教育に長く携わってきた浅野種正・同大名誉教授が就任する。資本金は当初100万円だが外部からの出資受け入れも視野にいれる。
EUVフォトンでは半導体の回路を形成する際に使われるフォトレジストなどを手掛ける素材メーカーから発注を受け、EUVの照射や解析、評価を担う。解析や評価のノウハウは九大からも提供を受ける。EUVの光源など設備の発注や人材の採用を学外から進め、2025年度中のサービス提供を予定する。
現状、EUV向け素材などの研究開発は海外に委託するケースが多く、高額な料金などが課題になっている。国内で試作を受注することで技術を蓄積するほか、人材も育てる。九大の石橋達朗学長は「半導体がブームとなるなか、九大も率先して産業に貢献をしたい」と話す。
フォトレジストについて説明して
フォトレジストは、半導体製造において不可欠な化学物質です。光や電子線に対して感光性を持ち、微細な回路パターンを形成するために使用されます。以下に、フォトレジストの基本的な役割とプロセスを説明します。
フォトレジストの役割
フォトレジストは、半導体の製造工程で微細な回路パターンを形成するために使用されます。具体的には、以下のような工程で使用されます12：
塗布：シリコンウェハーにフォトレジストを均一に塗布します。
露光：フォトマスクを通して光を照射し、フォトレジストに回路パターンを転写します。ポジ型とネガ型のフォトレジストがあり、光が当たった部分が溶解するか、残るかで異なります
現像：露光されたフォトレジストを現像液で処理し、パターンを浮き彫りにします。
エッチング：不要な部分を削除し、回路パターンを形成します。
除去：最終的にフォトレジストを除去し、ウェハー上に正確な回路パターンを残します1。
フォトレジストの種類
フォトレジストには、主に以下の2種類があります：
ポジ型フォトレジスト：光が当たった部分が溶解し、現像液で除去されます。
ネガ型フォトレジスト：光が当たった部分が硬化し、現像液で除去されない部分が残ります。
フォトレジストの重要性
フォトレジストは、スマートフォンやパソコン、家電、自動車など、私たちの生活に欠かせない半導体デバイスの性能を向上させるために重要です。微細な回路パターンを高精度で形成するために、フォトレジストの品質と均一な塗布が求められます
フォトレジストを製造している世界的に有名な企業には、以下のような企業があります：
JSR株式会社（日本）：フォトレジスト市場でトップシェアを持つ企業で、特に先端ロジックやDRAM向けに強みを持っています。
東京応化工業株式会社（日本）：EUV（極端紫外線）レジストや厚膜タイプのフォトレジストで高いシェアを持っています。
信越化学工業株式会社（日本）：台湾のファンドリーや先端DRAM市場でシェアを拡大しています。
住友化学株式会社（日本）：多様なフォトレジストを提供しており、特に3D-NAND向けの厚膜タイプで新規PORを獲得しています。
富士フイルム株式会社（日本）：北米ロジック顧客向けに高いシェアを持ち、先端プロセス向けのフォトレジストを提供しています。
デュポン（アメリカ）：化学製品の大手企業で、フォトレジスト市場でも重要なプレーヤーです。
メルクグループ（ドイツ）：フォトレジストを含む多様な化学製品を提供しています。
Dongjin Semichem（韓国）：半導体材料の製造で知られ、フォトレジスト市場でも存在感を示しています。
これらの企業は、半導体製造において重要な役割を果たしており、技術革新と市場の需要に応じて製品を開発・提供しています。
シリコンウェハーにフォトレジストを均一に塗布します。この過程を行う装置を作ってる会社をあげて
シリコンウェハーにフォトレジストを均一に塗布する装置を製造している主要な企業には、以下のようなものがあります123：
東京応化工業株式会社（TOK）：フォトレジスト材料だけでなく、塗布装置も提供しています。
信越化学工業株式会社：フォトレジストの塗布装置を含む多様な半導体製造装置を提供しています。
SCREENホールディングス：半導体製造装置の大手企業で、フォトレジストの塗布装置も取り扱っています。
アプライドマテリアルズ（Applied Materials）：アメリカの企業で、半導体製造装置の分野で世界的に有名です。
東京エレクトロン（TEL）：半導体製造装置の大手企業で、フォトレジストの塗布装置も提供しています。
これらの企業は、半導体製造プロセスの効率化と精度向上を目指して、先進的な技術を導入しています。
現像を行う装置を作ってる会社は
現像装置を製造している主要な企業には、以下のようなものがあります：
東京応化工業株式会社（TOK）：フォトレジスト材料だけでなく、現像装置も提供しています。
SCREENホールディングス：半導体製造装置の大手企業で、現像装置も取り扱っています。
アプライドマテリアルズ（Applied Materials）：アメリカの企業で、半導体製造装置の分野で世界的に有名です。
東京エレクトロン（TEL）：半導体製造装置の大手企業で、現像装置も提供しています。
ジャパンクリエイト株式会社：スプレー現像装置などを提供しています。
これらの企業は、半導体製造プロセスの効率化と精度向上を目指して、先進的な技術を導入しています。
エッチングを行う装置を作ってる有名な企業は
エッチング装置を製造している有名な企業には、以下のようなものがあります：
ラムリサーチ（Lam Research）：アメリカの企業で、半導体製造装置の分野で世界的に有名です。
アプライドマテリアルズ（Applied Materials）：こちらもアメリカの企業で、エッチング装置を含む多様な半導体製造装置を提供しています。
東京エレクトロン（TEL）：日本の大手企業で、エッチング装置の分野でも高いシェアを持っています。
SCREENホールディングス：日本の企業で、エッチング装置を含む半導体製造装置を提供しています。
サムコ株式会社：日本の企業で、特にドライエッチング装置に強みを持っています。
これらの企業は、半導体製造プロセスの効率化と精度向上を目指して、先進的な技術を導入しています。