中国半導体低レベルな事故が相次ぎ、半導体自動搬送事が故障

1人の中国半導体業界関係者「鹿工」が《芯智訊》に寄稿した記事で、「低レベルな事故が相次ぎ、AMHSの国産化は道のりが長い」と述べています。記事では、半導体工場における製造ラインでは、露光装置などの重要機器が故障することはそれほど深刻ではないと指摘しています。しかし、もし「AMHSシステム」（Automatic Material Handling System、半導体の自動搬送システム）が故障や渋滞を起こせば、製造ライン全体が麻痺する危険があるとのことです。

AMHSは、ウエハーやシリコンウェーハ、フォトマスクなどの生産材料の自動搬送を担うだけでなく、正確な物料管理と効率的な物流調整によって製造ラインの円滑な運行を確保しています。先進パッケージ技術の発展に伴い、AMHSは封止テスト（封測）の分野にも進出しつつあります。

現在、AMHS分野は数社の日本企業によってしっかりと掌握されています。（写真はグローバルファウンドリーズのクリーンルームにおけるAMHSシステム、ブルームバーグ）

現在、AMHS市場は日本の数社が独占しており、中国の国産化はまだ初期段階にあります。数社のみが導入実績を持ち、中国が外資系企業を代替するAMHSシステムを構築するのは「非常に難しい」と言われています。なぜなら、この業界では豊富な経験が必要だからです。

記事によると、筆者はある封止テスト工場を視察し、中国製の天井走行式搬送車を使用する4本のコンベアベルトがすべて断裂していたことを確認しています。さらに、そのメーカーでは天車が火災を起こす重大な事故も発生していたと内部関係者が語っています。他の中国メーカーでも天車が煙を出す事件が発生しており、国産化が本当に「簡単な代替」となるかが疑問視されています。


記事では、中国製の天車のコンベアベルトの断裂が原因で、ウエハー工場の天車システムが正常に動作せず、製造ラインが数日間停止したことが報告されています。これにより、時間が浪費され、生産効率が低下し、顧客の製品品質と安定性に対する信頼も損なわれたとのことです。

現在、半導体業界におけるAMHS市場は約20億ドル規模であり、その95%以上を日本の村田機械と大福が占めています。IC Insightのレポートによると、これらのトップ企業は半導体工場で数十年にわたる実践経験を積み、複雑な生産プロセスを熟知しており、突発的な問題にも迅速に対応できるとされています。一方で、中国の新興企業はこのような経験に乏しいのが現状です。

記事の結論では、中国政府が推進する国産化は単なる技術の模倣ではなく、長期的な技術蓄積と経験の蓄積が必要であり、中国が自国のAMHSシステムを構築するためには、着実な取り組みが求められると述べています。