[Kayの英語]ムラ(斑)は英語でなに？

半導体業界で頻繁に使われるムラ、斑、MURA

「レジスト膜厚は許容範囲内だけど、面内にムラが見られるし均一性もいまいちだし局所的な凸もあるし端っこが洗えていないからNGだなー」

こういう会話は、半導体業界にお勤めの方の間ではもはやお馴染みだと思います。そしてこの会話の相手が海外の取引先のエンジニアなのでどう伝えるべきか困る、という事もしばしば。

ムラという言葉は、半導体業界ではそのままMURAという単語で海外の人にも伝わるという噂を聞いたことがありますが、僕がアメリカの某半導体メーカーのエンジニアと話した経験から言いますと、一切伝わりませんでした。
恐らく、MURAというのは半導体関係の学会や論文の中で注釈付きで伝わる言葉なんだろうと思います。

ムラは「Distortion」がベスト

ムラは、「Distortion」が良いと思います。Distortionは、原形もしくは自然な形と比べて違う部分、というような意味があります。実際に前述のメーカーさんとのやり取りでも、Distortionという言葉を使ってムラ情報を共有していましたので、経験からも間違いないと言えます。

上の例文で出てきたその他の単語

膜厚 : Coating thickness
許容範囲内 : Spec in
ムラ : Distortion
均一性 : Uniformity
局所的な凸 : Hump
局所的な凹 : Dimple (＝えくぼ)
端っこ : Edge (面上の端っこ) / Bevel (すでに曲がり始めた部分)

今日の記事では、半導体業界で使われる単語を紹介してみました。