【学会誌】プラズマ洗浄技術
こんにちは。書いただけで投稿していなかったものがあったので投稿します。
（以下、過去作成時の文章そのままなので現在進行形の部分もあります）
『表面技術』2023年7月号を読んでいます。
読んだ記事について、気になったポイントをメモしておきたいと思います。
今回読んだ記事のタイトルは「プラズマを利用した洗浄技術とその応用」で著者は㈲サーフクリーンの加藤さんです。
内容
プラズマを用いた洗浄技術に関する解説です。
プラズマ洗浄は、レーザクリーニングと同様にドライの洗浄技術で、薬液を使用しないため、環境負荷が低い点が長所です。また、レーザーと違って、ある程度広い面積を同時に処理できるのもメリットになりそうです。一方で、短所は真空設備や高圧ガスが必要であること、放電による生成物を適切に処理する必要がある点です。
ポイント
プラズマ生成、ラジカル精製、ラジカル輸送、表面反応の４つの領域の制御が重要
この制御を考慮しないとオーバースペックになりやすい
誘電体バリア放電を使用することで低温プロセスへの応用が進んでいる
誘電体バリア放電はプラズマ発生電極を完全に覆うセラミックス等の絶縁材料を使用するため、プラズマを維持するための電圧が抑えられる
半導体や医療関係で使用されている
課題
低コスト化
オゾンや窒素酸化物が環境影響の対策
今日は以上です。