【学会誌】化学溶出析出法を使ったガラスのメタライジング

2024年6月10日 22:38

こんにちは。
『表面技術』2023年1月号を読んでいます。
読んだ記事について、気になったりやポイントだと思った部分をメモしておきたいと思います。

今回読んだ記事のタイトルは「ガラス基板上への低抵抗・密着性Cu層の科学的形成」で著者は豊橋技術科学大学の伊﨑さん他数名の方々です。

化学溶液析出法(CBD)を使ったガラス基板上へのCu膜の形成技術に関する内容です。

CBD法は水溶液中の化学反応を利用して基板上に薄膜を形成する技術ですが、硫化物や酸化物の成膜が容易に行えることが特徴のようです。

CBD法で製膜した後に水素化ホウ素Na水溶液等で還元することで金属膜を得ることもできます。

この記事では、CBD法で成膜→還元によって得られたCu膜の導電性・密着性を評価しています。